TestDataAnalysis向量失效报告
选择CSV文件路径,选择functional
选择需要分析的CSV文件列信息(起始列至结束列,中间用英文,分隔,英文#结束)
勾选xlsreport
点击start开始处理,输出文件参考如下
可统计所选文件夹下所有文件的失效向量summary。
利用此功能可查看同一lot不同wafer间的失效差异,或者同一wafer(lot/片)在不同温度下的向量失效。均可以
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利用此功能可查看同一lot不同wafer间的失效差异,或者同一wafer(lot/片)在不同温度下的向量失效。均可以